废气处理龙头盛剑im电竞境况：“体例+开发”双轮驱动 湿电子出奇兵

　　泛半导体废气处分龙头，进入速捷开展期。盛剑境况创立于 2005 年，于 2021 年正在上交所 主板上市，是中国泛半导体工业供给工艺废气处分体系治理计划的国内领军企业。公司深耕泛半导体工艺废气处分界限多年，不断办事于中芯国际、华虹半导体、京东方、华星光电、和辉光电等业内领军企业。

　　1) 营业首创期（2005-2011 年）：公司依赖早期实施主体盛剑透风，以创造、发售螺旋和工艺排气管道为主，客户涵盖大型展馆、医疗机构、食物饮料、汽车创造、光伏发电、集成电途和光电显示等行业。

　　正在办事工业客户流程中，公司认识到国度开展泛半导体工业的信念和对环保工业的珍视，并初阶担任了进军泛半导体工艺废气处分界限的重心产物。

　　2) 营业成型期（2012-2016 年）：公司开首进军泛半导体工艺废气处分界限，独立打算并 满堂承接泛半导体工艺废气处分营业。2012 年，上海集成电途研发中央废气处置体系成为公司首单满堂承接的工艺废气处分体系项目。

　　以后，公司逐渐获得了京东方、华星光电、天马微电子、维信诺、中电熊猫、信利光电、惠科光电、中电体系等业内着名客户高度认同。

　　3) 速捷开展期（2017 年至今）：公司 L/S 单体处分修设研造得胜并获得订单，记号着公司营业从核心处分端拓展至泉源职掌端，具备了泛半导体工艺废气全部体系治理本事。

　　公司设立子公司北京盛科达，一心于湿电子化学品供应与接受再生体系办事，进一步开掘泛半导体行业客户需求，完成工业价格链纵向延迟。

　　公司紧随国度工业绿色转型的步骤，掌握“绿色环保”与“泛半导体工业国产化”国度计谋带来的墟市机缘，打造“研发打算+设备创造+体系治理计划+投资运营+要害零部件及资料”五位一体的工业价格生态链。

　　公司的工艺废气处分体系治理计划归纳利用了核心处分和泉源职掌本事。公司依据差别客户的产物工艺流程、废气因素、空间组织等身分，定造化打算处分计划、修设选型、职掌体系、排放组织等，以完成核心处分体系与客户工艺修设的深度整合，并安静牢固田主动化运转。历经多年积淀，公司已全部担任了酸碱废气处置、有毒废气处置、VOCs 处置、通常排气等核心处分本事。

　　公司股权较为聚集。现实职掌人持股比例较高，截至 2022 年三季报，公司现实职掌人张伟 明、汪哲夫妻直接持有公司 60.74%的股权，并通过上海昆升企业统造合资企业(有限合资) 间接持有公司 3.20%的股权，合计持有公司 63.94%的股份。

　　2021 年 8 月，公司揭晓 2021 年股权胀励计算，最终确定拟向公司董事、高管、重心及骨干职员共计 86 人授予权力总共 321.87 万股，约占布告时公司股本总额的 2.60%。局部性股票授予代价为 38.63 元/股，授予的股票期权的行权代价为 57.94 元/份。功绩审核方向为以公司 2020 年开业收入为基数，2021-2023 年开业收入年复合增速 30%。

　　2023 年 2 月，因墟市境况及相干策略爆发较大变动，公司终止第一期员工持股计算，不涉及公司筹划变动。咱们以为公司股权胀励计算仍然笼盖重心及骨干职员，功绩方向合理，彰显开展信仰，同时有利于调动公司上下的踊跃性，绑定良善人才，共享公司发展盈利。

　　公司 16-21 年归母净利复合增速 38%。受益于中国泛半导体工业正在国产取代过程中高速增 长及竖立健康绿色环保、低碳轮回开展经济体例的宏观身分影响，2016 年至 2021 年，公 司开业收入由 2.12 亿元不断伸长至 12.33 亿元，年均复合伸长率 42.21%；归母净利润由 0.30 亿元伸长至 1.52 亿元，年均复合伸长率 38.34%。

　　2022 年前三季度，公司完成开业收 入 9.61 亿元，同比伸长 21.42%；完成归母净利润 1.10 亿元，同比伸长 24.41%。

　　公司毛利率程度牢固正在 27%以上。公司 2017 年消浸一面大型项目报价以速捷抢占墟市份 额，废气体系毛利率程度为 22%，使得满堂毛利率程度展示肯定水准的下滑。2018-2021 年，公司业内位子慢慢巩固，公司毛利率程度牢固正在 27%以上，跟着营业的逐渐胀动，公 司加强逐鹿上风，满堂毛利率仍有擢升空间。

　　从营业机闭来看，2021 年公司废气处分体系、废气处分修设、湿电子化学品供应与接受再生体系别离完成开业收入 8.37、2.91、0.86 亿元，别离占当期营收的 67.88%、23.60%、6.97%；别离完成毛利润 2.25、0.83、0.21 亿元，别离占当期毛利润的 66.96%、24.70%、6.25%。废气处分体系和废气处分修设共计对公司开业收入和毛利润的功绩突出 90%。

　　2018 年今后体系和修设营业毛利率均牢固正在 25%以上，湿电子营业因开垦墟市毛利率有所 震动。

　　此刻，公司废气处分体系和废气处分修设毛利率程度牢固，2018 年今后依旧正在 26% 以上，公司满堂有着较强的盈余本事。

　　湿电子化学品营业处于前期开垦阶段，公司为竖立墟市位子，正在新界限项目中供给了更拥有逐鹿力的报价，毛利率有所震动，后期基于公司办事的相似性和牢固性上风，毛利率希望擢升。

　　出产结算周期较长致 2021 年应收账款占收入比 56%，但 1 年以内应收账款占比 74%。公司废气处分体系营业的出产结算周期较长，导致公司应收账款占比力高。

　　2021 年因为公司功绩向好，发售收入伸长，应收账款余额 6.87 亿元，同比伸长 80.76%，占总资产的比例到达 30.60%。近年应收账款占开业收入的比例较为稳固，依旧正在 50%相近。

　　从账龄领悟，此刻公司应收账款中，账龄 1 年以内应收账款占比 74.42%，3 年以上应收账款占比仅为 0.88%，账龄机闭合理。

　　2021 年，发售用度同比伸长 56.08%，闭键因为职工薪酬和售后维持费加多；统造用度同比伸长 37.08%，闭键理由是职工薪酬和股份付出加多；研发用度同比伸长 44.36%，闭键是由于加大研发进入，相应职工薪酬和直接资料加多以及股份付出加多。

　　自 2019 年起，财政用度接连消浸，闭键理由是贷款利钱支付削减；同时因为下游泛半导体 界限客户需求不断依旧繁荣,以及公司踊跃开垦工艺废气处分等相干营业，2021 年开业收入 大幅加多，胀励 2021 年时间用度率同比低落 0.18 个百分点。

　　泛半导体行业不断发作丰富工艺废气。泛半导体行业闭键蕴涵光电显示器件和集成电途造 造，企业出产流程中巨额应用湿电子化学品和独特气体，出产枢纽不断产天生分丰富的工艺废气。

　　光电显示器件闭键包括 LCD、OLED 等，此中，TFT-LCD 的出产工艺流程闭键蕴涵阵列、彩膜、成盒和模组工序；AMOLED 的出产工艺流程闭键蕴涵阵列、蒸镀、切割和模组工序。集成电途创造的重心工艺流程闭键蕴涵掺杂、光刻、刻蚀和薄膜工艺，每个流程均会发作若干种污染物。

　　泛半导体行业废气污染物将会直接影响到客户的产能操纵率、产物良率、员工职业壮健及生态境况。工艺废气必要与出产工艺同步实行搜聚、处分和排放，废气处分体系及修设是客户出产工艺弗成豆割的构成一面。

　　1) 影响产能操纵率：泛半导体出产工艺是高度主动化的接连工序，大一面枢纽对工艺修设的排气压力存正在较高请求。工艺废气处分体系爆发阻滞会导致接连工序中缀，直接影响客户产线的牢固运转，从而影响产能操纵率。

　　2) 影响产物良率：泛半导体出产工艺周到度极高，对出产境况的洁白度请求庄厉，出产流程均正在上品级洁白室内实行。工艺废气自工艺修设进入工艺排气管道后，如因工艺废气处分体系阻滞导致负压不牢固，或者工艺排气管道揭发，以致洁白室内氛围境况改革，大概导致产物良率低落以致报废。

　　3) 危及员工职业壮健：泛半导体出产工艺中发作的挥发性有机物及其光化学反映产品等对人体壮健有直接伤害。

　　4) 损坏生态境况：泛半导体出产工艺大大凡高能耗、高水耗im电竞、高频率发作和排放有毒无益污染物的流程，会排放酸性、碱性、有机、有毒和含尘废气等。

　　新型显示本事驱动面板行业伸长，OLED 2022 年环球产能同比伸长 25%。从 LCD 到 OLED 再到 MiniLED/MicroLED，光电显示行业新本事不断迭代以络续满意墟市的消费需求，工业 领域不断伸长。

　　以 OLED 为例废气设备，2022 年环球产能同比伸长 25%至 5,010 万平方米。环球显示面板企业另日将加大正在 OLED、MiniLED、MicroLED、其他新型显示界限的研发和出产进入，此中以京东方、华星光电等为代表的中国面板龙头将正在动员全工业链稳重开展。

　　自 2010 年起，光电显示行业产能逐渐由日本、韩国、中国台湾向中国内地变化。LCD 显示器方面，跟着以韩国为首的海表企业正在 LCD 高世代线投资的放缓，另日环球新增高世代线维持将以中国内地企业为主导。

　　OLED 显示器方面，中国内地企业正在 OLED 产线的投资领域及组织仅次于韩国，2017 年起，国内面板厂商开首巨额投资 OLED 显示器产线。因为韩国厂商先后公布退出 LCD，将营业转向 OLED，环球 LCD 产能进一步集中于中国大陆，2020 年我国 LCD 产能仍然位居环球第一，大尺寸 LCD 产能占比到达 50%。

　　光电显示行业正在国度策略和工业变化的驱动下，不断依旧高额进入，估计另日数年中国大陆的面板显示行业产能占比将有进一步擢升。

　　中国LCD出产厂商正在高世代LCD长进一步组织。2020-2022 年京东方、华星光电、惠科、CEC 连续正在中国大陆投产共计 9 条 7 代以上的要紧出产线，这些龙头厂商中的大一面均为公司要紧客户，产能扩张有帮于公司功绩进一步开展。

　　公司深耕泛半导体工艺废气处分行业多年，为京东方、华星光电、天马微电子、维信诺、信利光电、惠科光电、中电体系等业内领军企业不断供给工艺废气处分产物。

　　2013年，公司依赖湿式多级洗涤塔处置氮氧化合物本事计划，中标京东方 B6 项目酸碱废气体系，该项目是国内第一条、国际第二条第 5.5 代 AMOLED 有机发光显示器件出产线，是公司掀开泛半导体行业高端客户的标杆性项目。

　　2014年，公司依赖湿式除尘本事计划，中标京东方 B8 项目酸碱有毒废气处置体系。

　　2015年，公司依赖剥离液废气冷凝过滤接受本事计划，中标华星光电 T2（第二阶段）独特废气处置体系。

　　2016年，公司依赖沸石浓缩转轮及蓄热式焚化炉处置本事计划，中标京东方 B7 项目 VOCs 废气处置体系。

　　依据《电子工业污染物排放尺度（二次搜罗成见稿）》编造阐述，光电显示行业环保投资通常占总投资（蕴涵出产修设置备费和工程维持费）的 2.5%-3%，此中废气处置/废水处置/化学品接受投资别离占 34%/31%/31%，可见废气处置投资占比最高，到达总投资 1%控造。

　　据 DSCC 预测，2023 年中国大陆面板修设支付为 44 亿美元，以面板修设支付占总投资额约 70%估算，依据产线维持节拍，研究订单连续开释和修设交付期影响，假设废气体系订单正在维持当年和次年等量开释，2023 年调治后面板资金开支为 808 亿元。以废气处分占行业资金开支 1%估算，2023 年面板行业废气处分体系墟市领域为 8 亿元控造。

　　1H22 面板显示收入同比伸长 13.7%，公司市占率保护 50%以上。

　　公司 2021 年面板显示界限收入 5.3 亿元，同比下滑 17.2%，闭键系面板显示行业投资下滑所致，据 DSCC 统计，21-22 年面板修设支付 132/120 亿美元，同比下滑 16%/9%。

　　虽然面板显示行业满堂资金性支付存正在肯定的周期性震动，公司依赖正在该界限深挚的客户根源和项目经历上风，1H22 完成收入 2.1 亿元，同比伸长 13.7%，完成逆势伸长。

　　因为公司集成电途界限营业扩张，1H22 面板显示收入占比同比低落 4 个百分点至 37%。2021 年面板显示毛利率同比低落 1.2 个百分点至 25.9%。

　　公司为绝大一面国内闭键光电显示厂商产线供给了产物或办事，具备较强的墟市逐鹿力。

　　依据咱们调研，公司正在中国大陆面板行业废气处分体系市占率保护正在 50% 以上，咱们以为通过强化重心客户和重心项目转化，公司希望保护稳重的面板界限收入。

　　公司积聚了杰出的口碑和品牌上风，废气处分体系及修设展示阻滞大概会导致客户停产，乃至形成巨大经济牺牲。以是客户偏向与优质供应商造发展期配合闭连。

　　光电显示行业前十名厂商霸占了行业的绝大一面产能，这些厂商的供应商准入尺度庄厉，大凡会挑选经历丰盛、史书功绩特出、行业内当先的供应商实行配合，供应商选定后通常不会粗心退换。

　　倚赖丰盛的行业经历，公司可能依据客户的差别需求完成定造化打算，同时具备完满的供应链。

　　公司正在开展流程中完成了沸石浓缩转轮、焚化炉等核心处分体系要害修设的自帮创造，具备不断的本事研发上风。

　　2023 年 2 月，公司中标“厦门天马光电子有限公司第 8.6 代新型显示面板出产线项目工艺排气体系工程一标段（施工）”项目，订单金额约 1.3 亿元。

　　2022 年上半年，公司中标深圳华星光电 t6t7 产能扩充项目、武汉华星光电第 6 代半导体新型显示器件出产线扩产项目、姑苏华星光电 t10 屋顶有机排气技改项目、京东方重庆第 6 代 AMOLED（柔性）出产线 年公司承接了厦门天马显示科技有限公司第 6 代柔性 AMOLED 出产线项目工艺排气体系工程项目、深圳华星 T9 VOC 体系包、绵阳惠科第 8.6 代薄膜晶体管液晶显示器件项目 210K 工艺废气体系扩修、上海和辉项目 45K 扩产废气体系包等行业核心项目。

　　2023 年环球半导体墟市将到达 5566 亿美元，中国集成电途工业速捷开展。近年来，跟着 人为智能、智能驾驶、5G 等新兴墟市的络续开展，环球集成电途行业墟市领域满堂展示增 长趋向。

　　依据 WSTS 预测，2023 年环球半导体墟市将到达 5566 亿美元。近年来，依赖着浩大的墟市需求、丰盛的生齿盈利、牢固的经济伸长及有利的工业策略境况等浩繁上风前提，中国集成电途工业完成了速捷开展，墟市增速彰彰高于环球程度。

　　2021 年环球晶圆代工发售额达 1,101 亿美元，行业或将于 2023 年下半年了结下行周期。

　　据 IC Insights 数据，2021 年环球晶圆代工发售额达 1,101 亿美元。依据华泰电子团队 2023 年 1 月 4 日揭晓的《2023:闭心内需,更始,安静三条主线》，环球晶圆厂修设资金开支（WFE, wafer fab equipment）估计 2023 年下滑 23%，2024 年伸长 30%，从 2022 年年中开首，半导体行业进入去库存周期，从 2023 年下半年开首，行业收复到需乞降需要成家的阶段，了结下行周期。

　　2021 年中国纯晶圆代工发售额约 75 亿美元，国产取代是工业升级主线。

　　目前国内满堂纯晶圆代工领域发扬为稳步伸长趋向，2021 年国内新能源汽车销量发生叠加智高手机需求回暖，国内晶圆需求发生式伸长，产能不断偏紧，代价飞腾下发售额伸长 40.9%，领域约正在 75 亿美元控造。

　　就趋向而言，优秀造程和尖端产物满堂代价和利润更高，同时传感器、电源统造芯片等成熟造程满堂需求正在短期仍将依旧高位，国产企业仍存正在较大扩张空间，历久来看，通过本事打破完成国产取代，擢升环球限度内晶圆代工逐鹿力，仍是国内工业升级主线。

　　近年来国内集成电途行业资金性开支如故依旧较高景心胸，因为集成电途是资金麇集型行业，出产线自身投资浩大，其正在环保方面的进入往往到达上万万乃至上亿元黎民币，依据电子工业污染物排放尺度对类型项宗旨统计，单个项目环保投资从 1,400 万元到 8.3 亿元不等。半导体废气处分行业将跟着国内厂商的投资扩产延续上升周期，公司功绩的伸长也将从中不断受益。

　　据 Omdia 和各集成电途公司布告，23-24 年中国大陆集成电途资金开支为 204/252 亿美元，依据产线维持节拍，研究订单连续开释和修设交付期影响，假设废气体系订单正在维持当年和次年等量开释，23-24 年调治后资金开支为 1,630/1,571 亿元。

　　依据《电子工业污染物排放尺度（二次搜罗成见稿）》编造阐述，集成电途创造业环保投资占总投资比例通常不突出 5%，假设废气体系投资占总投资比为 1.5%，测算取得 22-24 年集成电途废气处分体系墟市领域均为 23~25 亿元。

　　公司与集成电途行业的领军企业竖立了杰出的配合闭连。2021 年公司集成电途界限完成收入 5.72 亿元，同比伸长 281%，占开业收入总额 46.4%，毛利率同比擢升 2.5 个百分点至 29.0%。2022 年上半年，公司集成电途界限完成收入 3.13 亿元，同比伸长 62.0%，占开业收入总额比重由上年同期的 43.4% 进一步擢升至 56.8%，集成电途界限营业打破劳绩明显。

　　集成电途行业着名企业，如中芯国际、华虹半导体、北京集电和中电体系等，均已成为公司客户。公司一方面依赖品牌、本事与办事上风加快打破头部晶圆厂im电竞，另一方面掌握集成电途行业机闭变动、成熟造程产能擢升的机遇，强化功率芯片、模仿芯片和存储芯片等特征工艺产线组织，左右开弓，完成不断扩张。

　　1H22 新增订单 6.3 亿元，拓展细分界限配合。2022 年上半年，公司集成电途界限新增订单 6.3 亿元，得胜中标青岛芯恩崂山项目 Fab A 废气处置修设、芯卓半导体工业化维持项目二期工艺废气体系修设，以及国内某半导体公司的“某集成电途项目工艺排气体系分包工程”项目（订单金额 1.7 亿元）等。

　　2021 年，公司中标“格科半导体（上海）有限公司 12 英寸 CIS 集成电途特征工艺研发与工业化项目工艺排风体系”和“国内头部 12 寸存储芯片化学品供应体系项目”，列入一批国内着名的 8 寸线 寸线的项目维持，与北京集电（存储芯片）、卓胜微（射频 SAW 滤波器芯片和射频模组）、格科微（12 寸图像传感器芯片）、长电科技（优秀封装）等各细分界限当先企业展开项目配合。

　　公司的闭键产物为废气处分体系及修设，以及湿电子化学品营业。废气处分以定造化的研发打算、加工创造、体系集成及运维统造为闭键出产形式。

　　泛半导体工艺废气处分体系依照处置废气品种，分为酸碱废气处置体系、有毒废气处置体系、VOCs 处置体系、通常排气体系，并可依照废气因素实行归纳装备。同时，公司逐渐为客户供给湿电子化学品供应与接受再生体系及办事。

　　我国泛半导体工业起步晚于美国、日韩和中国台湾地域，对应的工艺废气处分营业开展相对滞后。墟市目前由国际供应商主导，闭键以 Verantis Environmental Solutions Group、天和（上海）半导体系程排气工业有限公司、晃谊科技股份有限公司、Kanken Techno、华懋科技股份有限公司为代表。

　　国际供应商拥有优秀的本事和工艺程度，跟随下搭客户产能变化将营业扩展至中国内地，正在工艺本事、经历积聚、客户资源、品牌影响力等方面拥有先发上风。

　　跟着国内泛半导体行业的急速开展，行业内的修设国产化水准也正在慢慢提升。废气处分体系和修设举动泛半导体出产工艺弗成豆割的构成一面，存正在巨额的国产化需求。

　　公司依据差别客户的产物工艺流程、废气因素、空间组织等身分，定造化打算处分计划、修设选型、职掌体系、排放组织等，完成核心处分体系与客户工艺修设的深度整合，并安静牢固田主动化运转。

　　历经多年积淀，公司已全部担任了酸碱废气处置、有毒废气处置、VOCs 处置、通常排气等核心处分本事，不断办事于业内领军企业。

　　正在保证产物本能根源上，公司阐扬本土上风，提升修设自产率消浸本钱，强化客户办事反应。依据咱们测算，公司正在集成电途废气处分体系界限市占率到达 20%控造，另日希望进一步擢升。

　　公司早期自产修设以工艺排气管道为主，2017 年和 2018 年，公司修设自产率为 25%/21%，产能局部导致自产率较低。2018 年下半年江苏盛剑厂房修成投产，公司修设创造本事大幅擢升，2019/20H1 修设自产率达 到 45%/48%。

　　公司不断研发，四川广汉和湖北孝感创造基地修成投产，目前闭键重心修设完成自产，废气处分体系自产率到达 70%控造。

　　公司完成了燃烧炉、转轮体系、工艺排气管道、除尘器、脱硫塔等单体修设的自产化，使得废气处分体系中采用公司自产单体修设的比例和品种都有所加多，归纳修设采购本钱有所低落废气设备。

　　公司不断实行产物研发和本事更始，担任了工艺废气处分重心本事，与泛半导体行业领军企业竖立了杰出牢固的配合闭连。

　　同时，公司不断实行废气处分修设的自帮研发、打算和创造，正在工艺排气管道的根源上，完成了 L/S、LOC-VOC 等修设的研发、打算、出产和发售，并完成了沸石浓缩转轮、焚化炉等用于废气处分体系的要害修设的自产。跟着公司产能的伸长，自产修设占比满堂呈上升趋向，拥有肯定的本钱上风。

　　公司得胜进入京东方、华星光电、中芯国际、士兰微、华虹半导体等本土厂商供应链，是少数可能承接面板和集成电途项宗旨本土厂商之一，国产取代趋向下公司希望不断扩张墟市份额。

　　公司出产的废气处分修设蕴涵工艺排气管道、核心废气处分修设和泛半导体系程从属修设。

　　公司出产的工艺排气管道以不锈钢涂层风管为主，可平常利用于泛半导体、印刷电途板、石油化工、生物造药、食物加工等行业的排气体系。

　　核心废气处分修设蕴涵沸石转轮、焚化炉、除尘器、洗涤塔等。泛半导体系程从属修设蕴涵 L/S 和 LOC-VOC，此中 L/S 涉及的重心本事蕴涵等离子废气处置本事、等离子反映腔本事、等离子火把爆发器本事、干式化学吸附本事、L/S 职掌本事、反映腔隔热本事和气体注入本事。

　　单体处分修设毛利率较高，国产化率仍有擢升空间。单体处分修设为泛半导体从属修设中的一种，公司打算、创造的泛半导体系程从属修设蕴涵 L/S 修设和 LOC-VOC 修设。

　　L/S 和 LOC-VOC 配套泛半导体工艺修设，本事难度较高，逐鹿者闭键为售价较高的表洋供应商，毛利率相对较高。

　　目前 L/S 修设自产比例约 40%，要害部件蕴涵真空泵、火把头和温控修设等。

　　公司对要害修设加大研发攻闭力度，2021 年完成火把头自产，2022 年竣事了火把头主动出产线的打算和维持。同时公司加快胀动真空泵和温控修设研发，咱们以为公司重心部件自产化率希望不断擢升。

　　依据能量源体例的差别，L/S 修设分为燃烧水洗式、等离子水洗式、电热水洗式和干式吸附式。

　　L/S 是 Local Scrubber 的简称，是泛半导体工艺修设 PFCs 污染物处置装配，用于对造程流程中发作的含氟、氯、硅等元素为代表的因素丰富的有毒无益废气实行泉源处置，该修设一端与泛半导体工场工艺修设相连，通过真空泵抽取工艺修设内发作的废气并实行剖释；另一端与核心处分体系相连，将剖释后的尾排气体排至核心处置装配并实行后续处置。

　　L/S 修设属于泛半导体工艺造程修设的逐一面，其运转牢固性及气体处置服从请求高。

　　以 中芯国际天津厂 P2/P3 扩产项目为例，L/S 修设平常利用于液相处置和特种气体干式处置 中多个处置工序，是出产工艺中弗成或缺的逐一面。

　　L/S 修设接连主修设实行当地废气处置，其处置工艺和结果与主修设运转参数亲近相干，以是主修设厂商与 L/S 修设厂商完成深度配合后，不会简单退换配合厂家。

　　L/S 修设目前仍以戴思、爱德华和康肯等表洋厂商为主，国内闭键列入者为盛剑境况、中微惠创、京仪设备、沃飞科技和上海兄弟等公司。

　　依据盛剑境况 2021 年报和京仪设备招股书（申报稿），2021 年其 L/S 修设销量别离为 405/312 台，咱们测算得 2021 年行业销量为 5,751 台（详见图表 43），对应市占率约 7%/5%。

　　盛剑境况加大研发进入，目前已竣事燃烧+水洗机型的研发验证测试，补充了公司正在集成电途界限燃烧水洗机型的空缺；同步研发验证水洗+燃烧+水洗样机，补充了国产化机型的空缺，并正在光电显示行业获得批量订单。

　　近年来，依赖速捷开展的研发打算程度和优质的办事，以盛剑境况为代表国内厂商阐扬本土上风，速捷开展，国产取代希望加快。

　　晶圆产能扩张功绩 23-25 年 L/S 修设墟市领域总共超 150 亿元。依据咱们对中国大陆闭键 晶圆厂新增产能统计，23-25 年 12 英寸晶圆新增产能正在 310 千片/月以上，8 英寸晶圆新增 产能正在 43 千片/月以上，以每千片 12/8 英寸晶圆产能对应 L/S 修设需求 15/12 台测算，23-25 年 L/S 修设需求超 5300 台/年。

　　统计 BOC Edwards、Unisem、Ebara 等闭键国际厂商修设单价，燃烧水洗式 L/S 修设报价正在 68-110 万元区间，以其均值 92 万元测算，23-25 年 L/S 修设墟市领域为 49/59/49 亿元/年。2023 年开首行业 8 英寸新增产能缩幼，由 2022 年 145 千片/月低落到 23-25 年 63 千片/月以下，同时行业 12 英寸扩产展示周期震动，配合导致 23-25 年 L/S 修设墟市领域有所震动。总体来看，23-25 年 L/S 修设墟市领域 3 年总共超 150 亿元。

　　LOC-VOC 是一种泛半导体洁白室 EHS 处置装配，用于处置洁白室内弥散的 VOC 气体，保证出产员工的职业壮健和安静。泛半导体行业出产车间某些区域轮回风中含有肯定量的挥发性 VOCs 气体，影响职业壮健和产物良率。

　　含有 VOCs 的气体通过沸石，VOCs 被吸附，洁白气体排至车间，幼风量的高温气体从沸石上脱附出高浓度的 VOCs，排至 VOCs 核心处置装配，聚集处置达标排放，有帮于提升客户造程的产物良率。

　　公司单体处分修设客户闭键是面板和晶圆厂以及北方华创等半导体修设厂商。北方华创是国内主流高端电子工艺设备供应商，受到集成电途行业主流客户的平常信任，是公司的要紧配合资伴。

　　公司出产的 L/S、LOC-VOC 修设举动泛半导体系程修设之从属修设，装置于造程修设侧，是泛半导体客户出产工艺弗成豆割的构成一面，配合北方华创的造程修设一同运转。

　　公司与北方华创竖立配套配合，有利于阐扬工业协同效应，胀励相干修设墟市引申及本事更始。另日国产化半导体修设的开展趋向是向上游重心部件、从属修设实行国产化延迟。跟着泛半导体系程从属修设界限墟市逐鹿加剧im电竞，公司不断加深与北方华创等行业当先优质企业正在本事研发、产物更始等方面的配合，希望保护当先位子。

　　通常分为通用湿电子化学品和效力湿电子化学品，通用湿电子化学品指正在半导体、显示面板、太阳能电池等创造工艺中被巨额应用的液体化学品，通常为单成份、单效力化学品，比方氢氟酸、硫酸、氢氧化钠、氢氧化钾等。

　　效力湿电子化学品指通过复配本领到达独特效力、满意创造中独间谍艺需求的复配类化学品，比方显影液、剥离液、蚀刻液、稀释液、洗刷液等。

　　此中，化学品供应体系闭键感化是将化学品从化学品原资料供应商供给的盛装容器中，输送到应用化学品的工艺修设入口，并依据必要实行加压、纯化、多组分调配及计量等废气设备。

　　化学品接受再生体系闭键感化是将废化学品搜聚后，依据必要实行表运处分或者正在厂内就行提纯再生，调配单组分、增加剂到达原液尺度后轮回应用。目前，内地泛半导体湿电子化学品供应与接受再生体系所需重心专用修设仍由日本、韩国和台湾地域主导。

　　以剥离液接受为例，据《废溶剂接受体系于 TFT-LCD 创造厂之利用》测算，剥离液月耗量为 150 吨工况下，未应用剥离液接受体系(stripper reclaim system, SRS)时，新液及废液处置费约为每月新台币 1,643 万元。

　　以月产能 60K 推算，每片基板之 stripper 本钱约为新台币 274 元。若应用接受体系，研究 SRS 运行本钱、修设维持统造用度及填补新液，每月用度仅约新台币 699 万元，每片本钱低落至约新台币 116 元，仅为接受前本钱 42%，降本幅度达 58%。

　　泛半导体系程发作的巨额废化学品列入危废名单，远程运输存正在巨大安静与境况危急，不切合变化危废的聚集和就近处置规矩。废化学品中多种因素具备高价格，蕴涵单乙醇胺(MEA)、N 一甲基乙醇胺(MMEA)、二甲基亚砜(DMSO)、二乙二醇丁醚(BDG)等。

　　公司为客户正在其产线内部配套维持、运营和维持废剥离液接受再生体系装配，不单可为客户减省危废处分用度，还可削减原资料一面采购本钱。

　　与韩国 Hanyang ENG 配合，切入湿电子营业。2017 年公司设立全资子公司北京盛科达（后改名北京盛剑微），开首拓展湿电子化学品供应与接受再生体系办事，但该界限重心修设闭键担任正在日、韩等表资企业手中，公司主动与 Hanyang ENG 配合。

　　Hanyang ENG（045100 KS）系韩国上市公司，具有业内当先的核心化学品供应体系本事。

　　2018 年，Hanyang ENG 承接绵阳京东方光电科技有限公司 B11 核心化学品供应体系项目，公司向其发售该体系的一面修设及配件，蕴涵储罐、管道、阀组等。公司由此得胜切入湿电子营业，以后连续列入京东方 B11、京东方 B17、合肥奕斯伟和深南电途等项目。

　　2019 年，公司承接了和辉光电第 6 代 AMOLED 显示项目-剥离液接受体系项目，业主依据对该项宗旨工艺请求，指定公司采用 Hanyang ENG 的化学品供应体系专用修设。

　　2021 年，公司湿电子化学品供应与接受再生体系营业确认收入金额为 8,619.96 万元，同比伸长 70.75%，并完成了 PGMEA 组分的客户厂内接受再生。

　　2022 年上半年，公司湿电子化学品供应与接受再生体系营业新增订单 5,241.26 万元，完成收入 8,229.84 万元，同比伸长 49.34%，靠拢 2021 年整年收入程度，交付了京东方、华星光电、深南电途、国内头部 12 寸存储芯片化学品供应体系等核心客户项目，新中标深圳华星光电第 11 代超高崭新型显示器件出产线项目 SRS 体系包。

　　湿电子营业可分为修设供应和资料接受再生两大类型，资料接受采用正在线轮回接受的运营办事形式。

　　正在逐渐扩张修设供应营业的同时，公司核心打破资料接受营业，2021 年公司全资子公司北京盛剑微正在上海化工区全资设立上海盛剑微，目前公司与海表头部厂商完成深度配合，连系内生本事研发，努力胀动样品造备和客户验证。

　　正在线轮回体系将为客户供给剥离液和蚀刻液等化学品接受再生办事，同时，公司能够收取不断的运营办事收入。咱们以为泛半导体行业不断伸长，原资料需求空间空旷，公司通过工业链纵向延迟，湿电子运营办事形式或将为公司带来稳重且不断伸长的功绩发扬，为公司掀开发展空间。

　　目前公司主开营业闭键分为废气处分体系、废气处分修设、湿电子化学品供应与接受体系和其他营业四大一面。

　　咱们以为公司另日仍希望依旧较高速率伸长，基础假设如下：废气处分体系：公司的废气处分体系闭键面向集成电途和光电显示两大板块。

　　正在光电显示界限，公司市占率到达 50%以上，通过强化重心客户和重心项目转化，假设 2024 年市占率擢升至 62%，估计 2022-2024 年开业收入基础牢固正在 3.7-4.1 亿元区间；正在集成电途界限，公司全力于将市占率擢升至 30%以上，研究集成电途界限国产取代加快，2022 年订单实施和收入确认受表部扰动影响，假设 2022-2024 年同比伸长 5%/60%/50%，估计开业收入到达 4.7/7.6/11.3 亿元，对应市占率为 20%/31%/49%。

　　跟着公司正在废气处分体系界限市占率擢升，加强逐鹿上风，毛利率仍有擢升空间，咱们假设 2022-2024 年毛利率为 26.9%/27.3%/27.7%。

　　废气处分修设：公司废气处分修设闭键分为工艺排气管道和从属修设，此中从属修设闭键 蕴涵 L/S 修设和 LOC-VOC 修设。

　　咱们以为公司正在工艺排气管道方面拥有成熟的本事，正在泛半导体界限废气处分利用中受到多家头部客户认同，希望不断伸长，估计 2022-2024 年开业收入依旧 30%的伸长率，到达 1.7/2.2/2.9 亿元。

　　研究领域效应下公司本钱管控程度巩固，假设 2022-2024 年毛利率逐年幼幅擢升，到达 26.6%/26.8%/27.0%。

　　公司和墟市均极为珍视从属修设板块的开展，跟着产能擢升，国产取代过程加快，公司从属修设销量希望速捷伸长，假设 2022-2024 年 L/S 修设销量同比加多 48%/50%/45%，LOC-VOC 修设销量 2022 年同比持平，2023-2024 年逐年伸长 20%，则从属修设开业收入到达 2.1/2.9/4.0 亿元。

　　从属修设绑定下游重心客户，毛利率可保护正在 30%以上且希望擢升，咱们估计 2022-2024 年毛利率为 30%/30.5%/31%。

　　湿电子化学品供应与接受体系：公司湿电子化学品修设供应营业已交付多个核心客户项目， 开展远景空旷。

　　咱们假设 2022-2024 年开业收入同比伸长 30%/25%/25%至 1.1/1.4/1.8 亿元。湿电子化学品资料接受营业打破期近，假设 2023-2024 年正在光电显示界限市占率为 1%/4%，或将完成开业收入 0.3/1.2 亿元。研究湿电子营业尚处于墟市扩张阶段，假设其修设供应/资料接受营业毛利率别离保护 23.8%/30%。

　　其他主开营业：其他主开营业占公司总营收比例较幼，估计 2022-2024 年开业收入同比增 速依旧正在 30%，毛利率保护 46.1%。

　　用度率：2021 年公司发售/统造/研发用度别离同比加多 56%/37%/44%，闭键系职工薪酬、 售后维持、股份付出和研发进入加多所致，研究公司营业扩张和研发进入的需求，假设 2022 年发售/统造/研发用度率为 3.9%/3.8%/4.9%。

　　2023-2024 年公司开业收入领域不断扩张，用度率希望收窄，假设发售/统造/研发用度率每年同比低落 0.1/0.1/0.3 个百分点。

　　公司财政机闭合理，2021 年资产欠债率 38%，正在手现金充满，咱们估计 2022-2024 年财政收入别离为 684/507/261 万元。

　　选择龙净环保和仕净科技举动废气处分体系营业可比公司。龙净环保为国内大气处分当先企业，主开营业为脱硫脱硝工程项目、除尘器及配套修设，供给大气污染处分界限的搜检监测、修设创造、体系集成、污染处分和聪颖运营等全流程办事。

　　仕净科技闭键为周到创造业供给废气处分体系和修设，为重工业企业供给脱硫脱硝一体化修设以及氮氧化物、硫化物和粉尘处置修设。

　　选择美埃科技和至纯科技举动废气处分修设和湿电子化学品营业可比公司。美埃科技主开营业系氛围净化产物、大气境况处分产物的研发、出产及发售，闭键利用于洁白室氛围净化，聚焦于半导体、生物医药等行业。

　　依据美埃科技招股书，2022 年上半年和 2021 年，其来自半导体、生物医药等行业的洁白室收入占比为 80.68%和 72.00%，美埃科技营业产物和下搭客户与盛剑境况具备可比性。

　　至纯科技为高端优秀创造业的高科技企业供给高纯工艺体系的治理计划，营业蕴涵高纯工艺体系与高纯工艺修设的打算、加工创造、装置以及配套工程、检测、厂务托管、标定和维持调治等增值办事，下业为半导体、面板显示、光伏、医药及食物等。至纯科技营业与盛剑境况湿电子化学品营业具备可比性，下游办事行业与盛剑境况具备可比性。

　　基于公司 2022-2024 年 EPS 1.24/1.75/2.53 元，参考可比公司 2023 年 Wind 相似预期 23.7x，研究到公司不断获取订单本事以及老手业内的本事上风彰彰，与下业多家龙头公司拥有深相符作，湿电子化学品营业发展空间空旷，予以 2023 年 30.8xPE，方向价 53.90 元。

　　下业投资震动危急：正在国度策略和工业变化的驱动下，泛半导体行业不断依旧高额投 入。环球泛半导体工业景气周期与宏观经济、下游终端利用需求以及自己产能库存等身分亲近相干。

　　假使另日泛半导体行业墟市需求因宏观经济或行业境况等理由展示大幅下滑，导致泛半导体行业投资领域低落，同时公司未能有用拓展其他下游界限废气设备，将大概对公司经开功绩发作倒霉影响。

　　市占率擢升不足预期的危急：跟着环保请求的日趋庄厉，以及泛半导体工业向中国大陆加快变化，泛半导体工艺废气处分界限正吸引越来越多的企业进入。

　　假使本土逐鹿敌手开辟出更拥有逐鹿力的产物、供给更好的代价或办事，或公司产物相对海表厂商同类产物不行依旧不断的代价、办事和本能上风，则公司的行业位子、墟市份额、经开功绩等均会受到倒霉影响，市占率擢升大概不足预期。

　　原资料代价震动的危急：公司产物废气处分体系的闭键本钱组成蕴涵修设及资料和装置劳 务，此中修设及资料闭键蕴涵风机、VOC 修设、洗涤塔等种种修设；废气处分修设的本钱 组成蕴涵直接资料、直接人为和创造用度，此中直接资料占比力高。修设、钢材、氟涂料等原资料采购代价的震动直接影响单元本钱。

　　假使另日原资料代价爆发较动，而公司不行采纳有用手腕实时将代价压力传导至客户，将大概导致公司产物本钱展示震动，从而对公司经开功绩组成倒霉影响。

　　疫情重复危急：受新冠疫情影响，环球经济面对较大下行压力，国行家业的开展也受到肯定影响；疫情的重复对宏观境况、工业供应链和墟市供需的影响仍正在不断，存正在对公司的筹划形成肯定影响的大概。废气处理龙头盛剑im电竞境况：“体例+开发”双轮驱动 湿电子出奇兵